DLC olmos kabi qopqoq - bu olmos va grafitning yuqori sifatli xususiyatlari, issiqlik o'tkazuvchanligi, yuqori qaynatish, yuqori kimyoviy barqarorlik, yuqori kimyoviy barqarorlik, yuqori kimyoviy barqarorlik, yuqori kimyoviy barqarorlik, yuqori kimyoviy barqarorlik, yuqori kimyoviy barqarorlik va boshqalar. DLC qoplamasi asosan jismoniy bug 'fazasi fazasi to'planishi usuli va kimyoviy bug' fazasi fazasi to'planishi usuli bilan tayyorlanadi va maxsus to'plash uskunalari tomonidan ishlab chiqariladi. Quyida qoplama cho'kma uskunalarini tashkil etadigan besh qismga qisqacha kirishdir.
1. Issiqlik va suvni sovutish tizimi
Isitish tizimi va suvni sovutish tizimi to'planish xonasi atrofida bir tekis taqsimlanadi va isitish harorati, tezligi va suv hajmi nazorat qilinadi va moslashtirilgan signal o'rnatiladi; Aylanish tizimi to'planish kamerasining pastki qismida joylashgan va izolyatsiya qiluvchi kulolchilik orqali izolyatsiya qilinadi va aylanish tezligi boshqariladigan va sozlanishi.
2. Vakuum tizimi
Vakuum tizimi mexanik nasos, ildiz pompasi, diffuziya nasosi, tarifli nasos va tegishli elementlarni o'lchash elementlari va jarayon talablariga muvofiq erkin almashtirilishi mumkin bo'lgan elementlardan iborat.
3. Gaz ta'minoti tizimi
Gaz ta'minoti tizimi birgalikda yig'ish kamerasining yuqori qismiga joylashtirilgan va gaz navlari o'z ichiga H2, N2, Ar2h2, C2H2 va kelajakdagi gazlarning boshqa navlarini qo'shish uchun ikkita interfeyslar va ikkita interfeyslar va boshqa interfeyslar kelajakda boshqa navlarni qo'shishga yordam beradi.
SIH4 o'z ichiga olgan o'tish qatlami olish uchun odatda moddiy gaz sifatida ishlatiladi, ammo SIH4 qoplamali si manbai sifatida kamroq xavfli gazni qoplaymiz.
4. Belgilangan maqsadli tizim
Uskunalar ikkita stacking birligi, PVD va PCVD-ning asosiy maqsadi (DLC) ning asosiy maqsadi - parametrlarni sozlash uchun, shuningdek, dlc har xil qattiqlik va qalinlikdagi elektr ta'minoti to'planishi mumkin va shu bilan birga, ishning suyuqligini yuklash rejimini tuzatishdan so'ng, Uni kompleks ish bilan qoplash mumkin; The primary intentions of the PVD unit are: (1) for different substrates, different targets can be replaced with different targets, and different adhesive layers or metal-doped DLC coatings containing different varieties of elements can be developed; (2) Maqsadni almashtirishdan so'ng, turli toifalar uchun "funktsional qatlam + dc" ning turli xil kompozitsionlari shakllanishi mumkin.
5. Elektrni boshqarish tizimi
Elektr boshqaruv tizimi PLC-ni to'liq boshqarish, jumladan, xost kompyuter, PLC dasturlashtirilgan boshqaruvchi, O'lchovlarni boshqarish, saqlashni boshqarish tizimi, haroratni boshqarish tizimi, suv ta'minoti tizimi, sovutish tizimi, uskuna ochilishi va uskunalari faol ishlaydi va uskuna faol ravishda operatsiya qilinadi va real vaqt rejimida kuzatilgan. Agar muammo bo'lsa, qurilma tashabbusni uyg'otish uchun tashabbus ko'rsatadi va signal darajasiga ko'ra qurilma to'g'ridan-to'g'ri "kutish" holatini yoki to'xtash joyini o'chirib qo'yadi. Har bir pechning operatsiya yozuvlari va signal yozuvlari kompyuterda oson ma'lumot olish uchun faol saqlanadi. Talablarga muvofiq, uskunalar to'liq qo'lda ishlash uchun o'zgartirilishi mumkin va qoplama parametrlari qoplama jarayoni davomida asosiy operatsiyani amalga oshirishi mumkin.